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技術(shù)支持

日本三豐Surftest表面粗糙度測量儀小知識(shí)

更新時(shí)間:2020-05-11   點(diǎn)擊次數(shù):3496次

JIS B 0601:2013 (ISO 4287:1997) 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)-表面形狀:輪廓法–術(shù)語、定義及表面紋理參數(shù)
JIS B 0632:2001 (ISO 11526:1996) 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)-表面形狀:輪廓法–位相補(bǔ)償濾波器的特征
JIS B 0633:2001 (ISO 4288:1996) 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)-表面形狀:輪廓法–表面紋理的評價(jià)的規(guī)則和程序
JIS B 0651:2001 (ISO 3274:1996) 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)-表面形狀:輪廓法–接觸(測針式)測量儀的標(biāo)稱特性。

接觸式表面粗糙度測量儀的特征 JIS B 0651 : 2001 (ISO 3274 : 1996)

三豐粗糙度儀測量原理示意圖:

測針形狀
理想的測針形狀是圓錐型,為球形
半徑:rtip = 2 μm, 5 μm, 10 μm
圓錐角度:60º, 90º
在理想表面粗糙度測量中,除特別規(guī)定以外,每個(gè)圓
錐角的角度都是 60º

靜態(tài)測量力
測針平均位置的測力:0.75mN
測力的標(biāo)稱變化率:0N/m
標(biāo)準(zhǔn)特性值:測針平均值的靜態(tài)測力

測針曲率
標(biāo)稱半徑μm
測針在平均位置
的靜態(tài)測量力
mN
靜態(tài)測量力變化的
公差率
mN /μm
20.750.035
50.75 (4.0)注10.2
10

注1 對于特殊結(jié)構(gòu)探測器 (包括一個(gè)可更換測頭),在平均位置靜態(tài)測量力的大值為 4.0mN。

截止波長值與測針半徑之間的關(guān)系
如下表所列,測針半徑rtip 的標(biāo)準(zhǔn)值與對應(yīng)于截止波長
標(biāo)準(zhǔn)值的粗糙度截止波長比率之間的關(guān)系

λc
(mm)
λs
(μm)
λc/λs大rtip
(μm)
大取樣間隔
(μm)
0.082.53020.5
0.252.510020.5
0.82.53002注10.5
2.583005注21.5
82530010注25

注1: 對于Ra>0.5μm或Rz>3μm的表面,通??梢允褂胷tip=5μm的測針,
在測量結(jié)果中沒有明顯差別。
注2: 當(dāng)截止波長λs為2.5μm或8μm時(shí),與推薦測針針尖半徑的測針(觸針)機(jī)械濾波所產(chǎn)生的衰減特性將位于定義的傳輸帶之外。因此,測針的半徑或者形狀上的微小誤差不會(huì)影響到測量中參數(shù)的計(jì)算。如果需要特殊的截止波長比率,須。

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