當(dāng)X射線設(shè)備開始測量時(shí)，X射線管會發(fā)出高能輻射，這也被稱為‘初級’輻射。當(dāng)這些X射線擊中樣品中的一個(gè)原子時(shí)，它們會增加能量–即它們“激發(fā)”原子 - 使原子向其原子核附近發(fā)射電子，這個(gè)過程被稱為“電離”。由于這種狀態(tài)是不穩(wěn)定的，一個(gè)來自更高電子層的電子移動來填充空隙，從而發(fā)射出“熒光”輻射。

這種二次輻射的能量水平類似指紋一樣：它是每個(gè)元素的特征。探測器接收熒光并將信號數(shù)字化。在信號經(jīng)過處理后，設(shè)備產(chǎn)生一個(gè)光譜：檢測到的光子的能級在x軸上繪制，其頻率（計(jì)數(shù)率）在y軸上繪制。樣品中的元素可以從光譜中波峰的位置（x軸方向）來識別。這些峰的水平（y軸方向）提供了有關(guān)元素濃度的信息。